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鐵環(huán)框架晶圓檢查機

HW-1000鐵環(huán)框架晶圓檢查機

檢測項目 :

裂痕、缺角、晶片大小、異物、變色、異色、髒汙等。

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產(chǎn)品特點

機臺尺寸

系統(tǒng)規(guī)格

項目名稱

規(guī)格

控制器

Intel Core i7工業(yè)電腦

顯示器

24”TFT LCD

低倍鏡頭組

12M畫素0.69X彩色鏡頭組(含LED光源/控制器)

高倍鏡頭組

12M畫素20X彩色鏡頭組(含LED光源/控制器)

支持鐵框

外徑187/212mm兩種可調(diào)

出/入料平臺

25入/25出(最高疊25片)

入料方式

伺服滾珠螺桿平臺真空旋轉(zhuǎn)臺

低倍解析

5um

高倍解析

0.1725um

電力輸入

單向220VAC 30A

氣壓源(CDA)

5kg/cm2,30L/min

機臺尺寸

1400x1000x1800mm

設(shè)備重量

600 KG


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